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  首先,在濕法腐蝕、清洗設(shè)備、擴(kuò)散方面,主要是自動(dòng)制絨設(shè)備、自動(dòng)清洗設(shè)備、全封閉擴(kuò)散爐、刻蝕機(jī)、去PSG設(shè)備等國(guó)內(nèi)已經(jīng)能夠制造,已經(jīng)達(dá)到世界先進(jìn)水平,且性?xún)r(jià)比優(yōu)勢(shì)十分明顯;國(guó)產(chǎn)PECVD(管式)的工藝結(jié)果已接近世界先進(jìn)水平,這是這種設(shè)備的優(yōu)勢(shì)。但它的自動(dòng)化程度(自動(dòng)裝卸片)不如進(jìn)口設(shè)備(進(jìn)口設(shè)備如德國(guó)Centrotherm公司產(chǎn)品,售價(jià)是國(guó)產(chǎn)設(shè)備的三倍左右),平板型PECVD目前國(guó)內(nèi)已有企業(yè)生產(chǎn),有待進(jìn)一步驗(yàn)證;第三,國(guó)產(chǎn)絲網(wǎng)印刷機(jī)(只有手動(dòng)),與進(jìn)口自動(dòng)化產(chǎn)品的差距也是在自動(dòng)裝卸片(機(jī)械手)和自動(dòng)檢測(cè)手段上,全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)已有企業(yè)生產(chǎn),工藝有待進(jìn)一步驗(yàn)證;第四,高溫?zé)Y(jié)爐技術(shù)提高,開(kāi)始批量在大線上使用;第五,自動(dòng)檢測(cè)分揀設(shè)備目前國(guó)內(nèi)已達(dá)到國(guó)際中等水平。
  然而,盡管?chē)?guó)產(chǎn)太陽(yáng)能光伏設(shè)備在國(guó)內(nèi)用戶(hù)中已建立起良好的信譽(yù),得到業(yè)界的廣泛認(rèn)可,越來(lái)越多的客戶(hù)從價(jià)格適中、性能良好、技術(shù)不斷進(jìn)步的國(guó)產(chǎn)設(shè)備中受益。但我們也應(yīng)該看到,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商在整體技術(shù)水平尤其是尖端技術(shù)水平上和國(guó)外廠商尚有差距。業(yè)內(nèi)專(zhuān)家指出,國(guó)產(chǎn)太陽(yáng)能光伏設(shè)備的競(jìng)爭(zhēng)力不完全在于設(shè)備的性能指標(biāo),而在于設(shè)備的性能價(jià)格比。成本是太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)的終極目標(biāo),業(yè)內(nèi)有句話,光伏設(shè)備沒(méi)有最好的,只有最合適的。據(jù)了解,建設(shè)一條太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線,70%以上的投資是用來(lái)購(gòu)買(mǎi)設(shè)備,而國(guó)產(chǎn)設(shè)備的價(jià)格平均只有國(guó)外產(chǎn)品的1/3—1/2,采用國(guó)產(chǎn)設(shè)備輔以少量進(jìn)口設(shè)備,可以將建線成本降低一半以上。
  清洗/制絨設(shè)備:?jiǎn)尉Ч韫夥姵夭凼交緡?guó)產(chǎn),多晶硅電池連續(xù)式進(jìn)口居多
  當(dāng)前環(huán)境下,國(guó)內(nèi)清洗設(shè)備企業(yè)正直面生存和發(fā)展的問(wèn)題。調(diào)查中發(fā)現(xiàn),面對(duì)這場(chǎng)全球性的危機(jī),電池清洗設(shè)備企業(yè)在擔(dān)憂(yōu)的同時(shí),應(yīng)對(duì)未來(lái)發(fā)展持謹(jǐn)慎樂(lè)觀態(tài)度。擔(dān)憂(yōu)的是這場(chǎng)風(fēng)險(xiǎn)對(duì)那些發(fā)展不好、實(shí)力不強(qiáng)的企業(yè)影響很大,樂(lè)觀的是清洗機(jī)行業(yè)仍然是全球和我國(guó)持續(xù)發(fā)展的新材料產(chǎn)業(yè)。過(guò)去幾年來(lái),清洗機(jī)國(guó)內(nèi)產(chǎn)量快速增長(zhǎng)和外貿(mào)出口量不斷加大,產(chǎn)業(yè)不斷擴(kuò)張,這造成了當(dāng)前大量清洗機(jī)開(kāi)始“倒向”國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。國(guó)內(nèi)清洗機(jī)行業(yè)因國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)的需求萎縮,企業(yè)出現(xiàn)限產(chǎn)和停產(chǎn)的狀況。
  在太陽(yáng)能電池企業(yè),目前在清洗制絨方式上采用的設(shè)備方式一般有三種:一種是效率不高但很實(shí)用的手動(dòng)操作清洗設(shè)備;第二種是分體式全自動(dòng)清洗,即清洗、制絨工序各用相關(guān)設(shè)備;第三種是目前較流行的一體式清洗機(jī),從研磨片到電池片一步到位。以上三種方式各有利弊:手動(dòng)操作盡管慢,但對(duì)于產(chǎn)量不大,人力成本低的廠家來(lái)說(shuō)是很好的選擇;分體式清洗機(jī)對(duì)硅片參數(shù)要求不高,效率也比較高,較容易找出電池片出問(wèn)題的所在;一體式清洗機(jī)效率高,自動(dòng)化程度高,但對(duì)硅片尺寸要求嚴(yán)格,維護(hù)起來(lái)也不太方便。
  制絨工藝比較復(fù)雜,不同公司有各自獨(dú)特的制絨方法。基本的工藝流程為:上料→HF+HNO3腐蝕→QDR+氮?dú)夤呐?噴淋→KOH腐蝕→QDR+氮?dú)夤呐?噴淋→HCl腐蝕→QDR+氮?dú)夤呐?噴淋→下料→離心機(jī)甩干(離線)。使用到的化學(xué)添加劑有兩種,一種是IPA(異丙醇),另一種是工業(yè)酒精。目前國(guó)內(nèi)的清洗制絨設(shè)備以達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平,體現(xiàn)在以下方面:全程PLC控制,觸摸屏操作;采用新型勻液及風(fēng)道設(shè)計(jì)技術(shù),降低清洗成本,減少污物的排放;新的密封隔離技術(shù)的使用,杜絕了生產(chǎn)過(guò)程中的微漏,保護(hù)整體電氣系統(tǒng)的安全;槽體配置可實(shí)現(xiàn)腐蝕后殘留在片子上的化學(xué)液及污染顆粒的沖洗祛除功能;大多采用機(jī)械手方式移動(dòng),工藝時(shí)間可以自行調(diào)節(jié);酸堿槽具有自動(dòng)補(bǔ)液裝置,可實(shí)現(xiàn)無(wú)間斷生產(chǎn);整個(gè)清洗、制絨過(guò)程中使用環(huán)保的清洗制絨液,降低了后續(xù)處理成本;最重要的是融合熱氮烘干功能,取代甩干機(jī),大大降低了碎片率。以上技術(shù)在調(diào)查中,基本以槽式機(jī)為主,在濕法制絨(連續(xù)式)及等離子(干法)制絨機(jī)方面國(guó)內(nèi)正在研發(fā),試驗(yàn)工藝已取得一定進(jìn)展。
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